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晶圓
兼容4~12英寸的自動(dòng)化基材傳輸系統(tǒng)
清潔環(huán)境沉積薄膜點(diǎn)缺陷少
沉積工藝穩(wěn)定,薄膜具有高重復(fù)性
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