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技術(shù)與服務(wù)

Technology and Services
  • 新型中頻圓柱旋轉(zhuǎn)陰極
  • 新型加熱式氣動高真空擋板閥
  • 恒張力恒速度卷繞控制系統(tǒng)
  • 線性離子源
  • 二進(jìn)制多段布?xì)饧夹g(shù)
  • 傾斜式箱體設(shè)計
  • 新型插板閥
  • 信息化自動處理
  • 氣體控制系統(tǒng)
  • 模塊化設(shè)計
新型中頻圓柱旋轉(zhuǎn)陰極

公司自行研發(fā)設(shè)計、加工的新型中頻圓柱旋轉(zhuǎn)陰極,提高靶材利用率,降低生產(chǎn)成本。

新型加熱式氣動高真空擋板閥

有效防止擋板閥外表面出現(xiàn)冷凝水現(xiàn)象,提高設(shè)備的可靠性并延長使用壽命,使設(shè)備安全運(yùn)行。

恒張力恒速度卷繞控制系統(tǒng)

與傳統(tǒng)的速度張力控制相比結(jié)構(gòu)簡單,控制方便,后期維護(hù)成本的減少,運(yùn)行可靠性能穩(wěn)定。

線性離子源

可對鍍膜前的基材進(jìn)行預(yù)清洗,提高成膜附著力,工作模式包括聚焦模式和散焦模式。

二進(jìn)制多段布?xì)饧夹g(shù)

確保工藝氛圍均勻性。

傾斜式箱體設(shè)計

傾斜式箱體設(shè)計實(shí)現(xiàn)了基片在裝卸過程中無夾具印,解決了大型超薄基片裝夾過程中的扭曲問題。

新型插板閥

無水電引入系統(tǒng)的新型插板閥,減少故障發(fā)生率,提高生產(chǎn)效率。

信息化自動處理

從工廠現(xiàn)場自動化設(shè)備中采集實(shí)時運(yùn)行狀態(tài)、運(yùn)行參數(shù)、加工信息和質(zhì)量信息,并傳輸?shù)奖O(jiān)控終端分解成用戶所需要的報表、圖表和可視化界面形式顯示,使生產(chǎn)管理人員能及時監(jiān)控生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行狀況和能力,合理安排生產(chǎn)及時調(diào)度,保障生產(chǎn)設(shè)備處于最佳狀態(tài),生產(chǎn)順利、有序、高產(chǎn)、低耗進(jìn)行。

氣體控制系統(tǒng)

通過等離子體發(fā)射光譜監(jiān)測來控制氣體流量和電壓,控制優(yōu)化反應(yīng)濺射的狀態(tài),從而獲得最佳的沉積速率與膜層質(zhì)量。

模塊化設(shè)計

可靈活改變工藝配置,適應(yīng)各種鍍膜要求。

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電話:13316689188

郵箱:office@hcvac.com

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